高純氮?dú)夥治鰞x采用氧化鋯離子流原理進(jìn)行測量氮?dú)夂俊鞲衅鹘?jīng)久耐用,測量精度高,穩(wěn)定性好,為客戶提供多種量程測量,便攜式的測量方式提供多種工況應(yīng)用,免維護(hù)設(shè)計(jì)。
高純氮?dú)夥治鰞x是專用于檢測氮?dú)庵醒鹾炕蛑苯语@示氮?dú)饧兌鹊墓I(yè)檢測設(shè)備,適用于5N級(jí)(≥99.999%)及以上純度氮?dú)獾木珳?zhǔn)測定,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、空分制氮、石化及生物發(fā)酵等領(lǐng)域。其核心原理是通過電化學(xué)傳感器(如ECD或氧化鋯)測定氮?dú)庵形⒘垦鯘舛龋俜此慵兌龋∟?%=100-O?%)。
操作流程與校準(zhǔn)規(guī)范:
氣路連接:
氣管連接氮?dú)馄繙p壓閥出口與分析儀進(jìn)氣口,氣壓控制在0.05-0.25MPa。
開啟吸氣泵,調(diào)節(jié)流量至0.4-0.6L/min(流量偏差>10%將導(dǎo)致誤差)。
校準(zhǔn)與報(bào)警設(shè)置:
密碼5609進(jìn)入菜單,設(shè)置純度閾值(如99.5%觸發(fā)低報(bào)警)。
電化學(xué)傳感器每季度需用標(biāo)準(zhǔn)氣體驗(yàn)證,偏差>±2%需校準(zhǔn)。
安全與維護(hù):
環(huán)境適應(yīng)性:工作溫度0–50℃,濕度<85%RH,避免冷凝損壞傳感器。
靜電防護(hù):高危區(qū)域需接地電阻≤4Ω,配置防靜電鏈。
傳感器壽命:電化學(xué)傳感器約2年,氧化鋯傳感器>5年。